파티클 센싱모니터

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AES-FP시리즈파티클 센싱모니터
파티클 센서Unit

パーティクルセンシングモニター (パーティクルセンサ) AES-FPM、パーティクルセンサユニット

클린룸이나 클린부스, 반도체‧식품의 제조공정, 인쇄공정, 병원시설 등의 청정도관리를 요구하는 환경에서, 0.3um이상의 입자의 상시감시가 가능한 모니터입니다. 청정도Class를 시각화하여, HACCP관리에도 대응 가능한 측정기 입니다.
센서Unit은 생산설비에의 조립용도에 적합한 콤팩트한 설계로 좁은공간에도 설치가 가능합니다.

파티클 센싱모니터와 파티클 센서Unit의 분리탈착이 가능.
예비의 센서유닛을 사용함으로서, 교정기간 중에도 계속하여 측정이 가능함.

  • 저가격의 부유입자계측이 가능한 모니터.

  • 청정도 Class1,000~100,000을 4단계의 LED로 표시.

  • 0.3um과 수um이상(참고치)의 입자수을 출력.

  • 용도에 맞추어 출력사양이 다른 5모델을 Line up.

  • 파티클 센싱모니터와 파티클 센서Unit의 분리탈착이 가능.

  • 옵션으로 온습도센서의 탑재도 가능.

설치 예

設置例

용도 ‧ 사용예

반도체부품이나 식품공장내, 병원환경의 청정도관리에

半導体部品や食品の工場内、病院環境の清浄度管理に
  • 문제

    제조장치마다 자동계측을 할 수있다면 제품품질과 제조효율의 향상을 기대할 수 있다.

  • 계측

    제조장치마다 파티클 센싱모니터를 설치하여 입자발생빈도를 상시모니터링.

  • 개선

    수율, 품질, 작업효율을 개선할 수 있었다.

클린룸의 공조자동제어에

クリーンルームの空調自動制御に
  • 문제

    넓은 클린룸 내부가 정말로 청정도가 유지되고 있는가? 눈에 보이지 않는 균이나 먼지의 오염도는?

  • 계측

    파티클 센싱모니터를 여러 거점에 설치하여 일괄관리 및 상시모니터링!

  • 개선

    입자분포를 판명하여 중점적인 청정화 대책을 마련할 수 있었다!

전기실이나 데이터센터의 서버룸 관리에

電気室や、データセンターのサーバールームに
  • 문제

    정밀기기가 많은 전기실(전원장치 보관장소)의 청정도 관리부족에 따른 고장은 피하고 싶다.

  • 계측

    파티클 센싱모니터로 입자발생유무를 상시모니터링!

  • 개선

    입자 발생의 시각화로 청소빈도를 관리할 수 있었다

클린부스나 클린벤치의 필터파손시의 경보용으로

クリーンブースやクリーンベンチのフィルター破損時の警報用に
  • 문제

    클린벤치의 필터가 작업 중 파손되었다면 어떻게 하는가?

  • 계측

    파티클 센싱모니터로 입자발생유무를 상시모니터링!

  • 개선

    필터 파손을 감지하여 작업 손실을 줄일 수 있었다

반도체 ‧ 정밀부품의 제조품질향상에

半導体・精密部品の製造品質向上に
  • 문제

    이물질 부착으로 인한 제품불량과 손실비용이 좀처럼 줄어들지 않는다.

  • 계측

    청정도 중점관리점의 상시 감시용으로 파티클 센싱모니터를 설치!

  • 개선

    특정 작업시에 이물질 발생빈도가 높은 것으로 판명되어, 불량이 급감!

공조시스템 OFF시의 상태감시에

空調システムオフ時の状態監視に
  • 문제

    야간공조를 정지했었는데, 익일아침 재기동시의 청정도 회복까지 얼마나 걸릴까?

  • 계측

    공조시스템 재부팅 시에 파티클 센싱모니터 전원 ON!

  • 개선

    청정도의 시각화로 조업시작 시, 안심하고 작업할 수 있게 되었다!

사양

  파티클 센싱 모니터 센서Unit
모델명 :AES-FP FPM-1 FPM-2 FPM-3 FPM-4 FPS
광원 레이저 다이오드
입자크기 0.3µm이상 / 수µm이상(참고치)
측정범위 Class1,000 ~ Class100,000(※1)
출력단위 pcs/㎥(default), pcs/cf,pcs/L(※2)
센서출력값 60초 평균값(권장)
데이터 갱신시간 1s
전원전압 DC12V
소비전류(최대) 600mA 200mA
동작온도 0 ~ 40℃
보존온도 -20 ~ 60℃
동작습도 30 ~ 80%rh
보존습도 90%rh이하
농도출력 LED레벨표시 -
Reference표시 -
아날로그 출력 - - - -
디지털통신
(인터페이스)
-
(Ethernet)
-
(Ethernet) (Wi-Fi)

(RS485)
경보(알람)출력 -
온습도 계측기능(※3) - - -
중량 약210g 약65g
적합전선Size AWG26~20
  • (※1)Class 1,000은 참고치입니다
  • (※2)FPM-2/4만 가변으로 취득가능합니다. 수um이상의 단위는 [pcs/min]로 고정입니다
  • (※3)별매의 전용 온습도센서(모델명: CHU-L151-11A-AES)가 필요합니다.